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单晶硅基板作为目前5g通信、人工智能、大数据、物联网等行业高端集成电路应用的重要基础材料,特别是国际上目前最先进的芯片工艺中采用的12英寸硅芯片与其技术路线进行交互 随着中美贸易摩擦和贸易限制的不断升级,缺乏具有自主知识产权的先进芯片工艺所需的大型硅片严重制约了我国新闻产业的迅速发展。
前几天,某研半导体在大硅片产业的迅速发展中迈出了重要的一步,企业经过一年的计划准备,首次引进了水平超导磁场和辅助大型直拉单晶炉系统,在疫情期间克服了各种困难,完成了设备的安装调整,于5月29日 这次大规模单晶的研究开发难关,从热场设计到过程模拟,再到拉晶调整,都是有研半导体团队自己完成的。 实验的突破和进展表明,企业向12英寸大硅片产业的布局迈出了重要的一步,为企业12英寸集成电路用大硅片产业化项目的顺利实施奠定了坚实的基础。
资料来源:研硅部落
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原题:“有研半导体超导磁场大型系统12英寸单晶硅棒顺利出来了”
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